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超純水と純水の定義
超純水と言えば 18MΩcmとよくいわれるように、超純水と純水の定義は、比抵抗(導電率)だけで語られていました。
しかし超純水と純水の水質要求の高まりにより、最近ではTOC表記の有機物量も指標として定義づけられるようになりました。
EDI方式や蒸留、イオン交換など精製方法で分類する方法もありますが、すべて純水というカテゴリーに含まれます。
純水は精製方式により水質が著しく違うので注意が必要です。
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